雖然芯片工廠問題不大，有帝都提供，王逸可以省下幾十億。
但里面的生產線，光刻機等設備，都要王逸自己解決。
這些才是最貴的，保守估計后續投入也得一百五十億起步。
像是光刻機，2010年阿斯麥就推出了euv光刻機twinsnxe:3100。
前世，2013年阿斯麥又推出euv光刻機nxe:3300。
不過這些先進的euv光刻機，王逸就不考慮了，不現實，不可能對內地企業出售的。
前世中芯國際訂購了一臺euv光刻機，花了1.2億美金，錢都付了，最后因為帝國阻撓，阿斯麥也遲遲沒有發貨。
相反，內地企業能買到的，也就是落后很多代的duv光刻機。
比如2016年出的nxt1980di，是前世內地企業買到的最先進光刻機之一，也是中芯國際主力機型。
拿著nxt1980di當euv3300用，真是太強人所難。
如今佳能已經放棄高端，停留在55n，再往上完全干不動。
像是三星臺積電的未來幾年的28n、22n、20n、16n、14n、10n，很多都是用的nxt：1950i！
若是趁機出手，多訂一批，那后續就高枕無憂了。
同樣，王逸的12英寸晶圓廠，若是買到nxt：1950i和1960bi，也能從明年的28n，一直用到22n、20n、16n、14n、10n，甚至7n。
中芯國際，華力等企業，都是用nxt1980di二重曝光，量產2819n的芯片。
王逸記得，前世euv光刻機要1.2億美金，1980di要7200萬美金。
更先進的duv光刻機nxt:2000i，都買不到，更別說nxt:2050i。
畢竟三星、臺積電2016年量產10n芯片的時候，nxt：1980di光刻機才開始量產！
7n之前的制程，三星臺積電用的都是1950i、1960bi、1970ci等老型號。
但中芯國際買不到euv光刻機，只能硬著頭皮用nxt1980di進行三重曝光，四重曝光，甚至五重曝光。
當然，2011年nxt1980di還沒有發布。
而當下的1950i估計會便宜一些。
比如尼康的nsrs620d和阿斯麥的1950i，性能差不了多少，多重曝光后也可以做1028n，甚至7n。
使得中芯國際的28n工藝大規模量產，能滿足大多數芯片需求。
阿斯麥不但在duv光刻機領域獨領風騷，而且開始發力euv光刻機，進軍7n以下的制程。
不過老款的1950i運作一下，還是有希望的。
當然，不能只壓阿斯麥，小日子那邊也得看看。
可7n制程，就要用nxt1980di四重曝光，技術方面梁老都能解決，但良品率和成本就不好說了。
20臺就是70億！
為什么一次性進這么多？還不是怕做大了被錘！
果然，一臺1950i光刻機要4000萬歐元，5470萬美元，也就是3.5億人民幣。
14n需要三重曝光，憑借梁老的技術，良品率和成本也能保證。
哪怕溢價買，都不成問題！
幸好梁老能力突出，在多重曝光領域造詣頗深，硬是推出n1、n2工藝，用nxt1980di這種落后的光刻機，實現了14n、10n，甚至7n。
最初，臺積電用nxt:1980di來制造7n芯片，效果很不理想，良品率低，成本高，最后還是換上euv光刻機，才實現了完美的7n。
同樣，要用nxt:1980di來制造14n、7n的芯片，那就得靠多重曝光技術，對廠家的技術要求非常高，量產芯片的成本也很高。
巧婦難為無米之炊。
當然趁著當下風頭不緊，抓緊多進一些！
這樣后續產能擴大，都夠用，一直用到2018年1980di都不再禁售。
進上十臺，就是35億。
而尼康還在苦苦堅持，高端領域沒希望，可是中低端領域還是沒問題的。
后續的nxt：1960bi、1970ci、1980di，不過是在nxt：1950i進行了部分升級，提高了良品率和精度，本質上相差不大。
為此，王逸拿出手機，開始查數據。
梁老的兩重曝光技術，不但把中芯國際的28n良品率從50提到了90以上，成本也不會增加太多。
原本光刻機三巨頭阿斯麥，尼康，佳能。
不過，在國產光刻機突破之前，這也是迫不得已的辦法。
只要不量產7n，都沒壓力。
其實1950i1960bi1970ci1980di，這四款光刻機都是同樣的光源系統，單次曝光都在38n以上，多重曝光都能生產28n、16n、14n、12n，甚至7n。