華芯國際當然沒有拒絕的理由。
后續幾個人又去研究室看了光刻機，因為光刻機本身在無菌室里，所以他們只是隔著透明玻璃往里看。
也看不出怎么個所以然。
梁總盯著看了好一會兒，實在是憋不住心里的疑惑：“李總，我問一些問題，您不要覺得有冒犯，也不是我不信任您……”
“不必如此，”李顏笑道，“交流而已，請講。”
“這臺是浸潤式duv？”
“是。”
“你所說的自己設計的光刻機，也是浸潤式？”
“是，附帶成本更高昂一點的浸潤系統，優化要等后續，并且大概需要一段時間的測試。”
“你意思是，你沒有進行測試？”
“我都沒做出來，沒法測試。手里只有這臺東西，而且超純水什么的，我這邊也不好搞，華芯國際有現成的，我才說讓你們測試。”
梁總眉頭緊緊皺起，“那你怎么，就覺得自己的想法可行？”
“我在腦子里跟電腦里都模擬過了，妥。雖然我的解法跟阿斯瑪的做法不一定一致——我也說了，考慮到當前華夏的工業生產水平，相比起光刻機，我目前為了先做出來的方案一，更像是‘光刻房’。浸潤系統的成本不是量產級別，我還需要根據實際生產的情況進行優化。”
……嘶，梁總匝巴嘴，心想姑且當李顏說的是真的，便繼續問道：
“分辨率跟套刻精度呢？”
“跟阿斯瑪的一樣，193的波長，arfi光刻機，分辨率38nm，得益于浸潤式的提升，最小制程7nm。”
梁總心里一邊聽一邊狂喊“不可能”，喊得筋疲力盡。
李顏突然一拍腦袋，補充道，“當然，目前套刻精度受制于制作工藝精度，實際用起來，想要通過多重曝光達到7nm制程，良品率應該不太妙。只能算是理論上沒問題，實際應用的話，應該還是制程28nm的芯片為主。”
“你說的要都是真的，你就是華夏這個行業的救世主。”范總用夸獎的方式把梁總心里的不可能喊了出來，“完完全全就是從無到有帶領我國芯片產業往上跨了幾個臺階！不可思議！”
梁總繼續問，“掩模板、晶圓、光源等模組的定位與運作，你竟然能用手拆了之后復原，并且不影響他們的精度？”
“梁總，要是光刻機的精度取決于安裝時手抖與否，那也太低級了。就算是全機械流水線安裝，大型器械的精度難道就能匹配光刻機的零件精度嗎？”
“那……”
“他們肯定都有互相匹配的卡位裝置，就連螺絲轉幾圈都有具體規定，并且都留有細微的調整余量。像掩模板傳送模組的精度，相比晶圓傳輸模組與雙晶圓平臺模組的精度要求也不一樣，精度是可以借流程推進逐步提高的嘛。這東西內部的運作程序如何修正定位誤差，才是最終成品能運作的核心問題。”李顏說道，“這種級別的精度本來就不可能光靠‘怎么放置’的機械操作保證。”
梁總聽得很急，他有太多問題想問了：
“你怎么能知道螺絲轉幾圈這種東西？”
“我拆的時候記住了。”
“就……就靠記？”范總也懵逼了。
未免太離譜了吧，爽文也不能這么爽啊。
“當然不，螺絲拆了擰回去也有一定磨損，我畢竟徒手操作，有些地方不可能跟原來一模一樣。所以需要完全理解這臺機器，明白這里螺絲為什么轉這么幾圈，然后借計算機模型的輔助，確認我裝回去的時候需要轉幾圈。”
好的更離譜了。
“那你說的，程序運作……難道你直接解析了機器的內部運行系統嗎？”
“我寫了個新的。”李顏笑道。
梁總突然感覺胸口涌出一股熱血，馬上就要噴涌而出。
他幾次想說話，但是看著李顏根本問不出來，最后搖搖頭，“我……沒什么想問的了，范總，我現在就想把它運回去，咱們測一測能不能造28nm制程的芯片。”
石磊聽得心驚肉跳，湊近李顏耳朵悄悄問：“浸潤系統你都拆了，回頭還能用嗎？”
“我又不是真的把全部零件拆干凈……”李顏無奈，“也不是所有部件都能拆啊，石院，我這次不是一比一復刻，有些東西只要理解他的原理，然后用自己的方式實現就可以了。”